目前,太赫兹作为一个介于微波与红外之间的全新频段尚未完全开发。传统的太赫兹时域光谱(THz-TDS)系统无法进行基于平行束的实验研究。为了克服现有系统的缺点,我们结合国内外先进的太赫兹设备,设计并搭建了基于时域光谱技术的太赫兹平行束实验平台。太赫兹波的产生和检测本质上是一个泵浦/探测的检测过程,其中泵浦光束用来产生THz辐射而探测光束则用于测量太赫兹波信号。我们利用光学延迟法改变泵浦光和探测光的相位来测量太赫兹信号,可以延迟泵浦光或探测光,也可以两者都延迟。太赫兹时域光谱系统产生的信号强度一般很弱,因此需要高灵敏度的探测器。同时我们需要使用锁相放大器来调制和解调太赫兹信号。我们对该系统的性能进行了分析。主要分析了信噪比和束斑大小。研究了斩波频率、ZnTe角度和探测光功率的改变对太赫兹信号的影响。另外,基于该系统,测得了高阻硅的折射率曲线。从测试数据来看,该系统具有较高的性能。