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自适应光学系统能够实时测量并补偿由大气湍流引起的波前畸变,被广泛的应用于天文望远镜中,变形镜作为校正器件,是整个自适应光学系统的核心部件。其中双压电/单压电变形镜因低成本、轻量化、结构紧凑而在10米以下天文望远镜中有较大的应用前景。在变形镜设计中,其支撑方式对变形镜性能有重要影响。本文研究不同支撑方式对单压电变形镜校正性能的影响,并提出了一种带边缘驱动的大口径单压电片变形镜,通过仿真分析和实验验证了该变形镜的校正性能。本文的具体工作和结果如下: (1)调研了在满足一定成像质量时天文观测对变形镜性能要求,主要表现为随着望远镜孔径的增大,在变形镜致动器数量、单个致动器变形量快速增加,并要求必要的校正带宽。结果表明课题组的214单元单压电变形镜能够满足近红外光观测,具有实际应用前景。 (2)研究了支撑方式不同对变形镜性能的影响,仿真分析固支、简支、三点支撑、六点支撑对变形镜影响函数、重构性能等的影响。结果表明固支时各个致动器变形量最小,100V电压下外圈变形量为2.34μm。在重构低阶Zernik像差时,固支重构幅值最小,重构离焦项幅值为45μm,简支最大,重构幅值达到60μm,三点、六点支撑重构幅值介于固支、简支之间且相互间区别不大,在重构高阶像差时不同支撑方式的重构幅值区别较小。四种支撑方式重构像差的残余误差区别较小,归一化的重构误差随项数增加呈波浪式上升。 (3)提出了一种带边缘驱动的单压电变形镜,变形镜的边缘由数个压电堆栈执行器支撑。仿真分析了边缘驱动的校正性能,结果表明三、六点能动支撑能够有效重构倾斜像差,六点对像散等也有校正能力。接着制备了三点、六点能动支撑变形镜样机,搭建了基于波前传感器的测试系统测试了该类变形镜性能。结果表明:在0-100V电压下,三点、六点能动支撑变形镜均可重构大于12μm的倾斜像差,对应的归一化残余误差小于0.06,六点致动对像散和三叶草像差也具有较好的校正能力,边缘执行器有效提高了单压电变形镜性能。