【摘 要】
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论文的主要研究内容是以LiNbO波导的扩散理论为基础,设计了适合我们器件的波导制作的参数,完成波导制作和提高耦合效率的实验.论文对芯片的结构做了初步的阐述,然后从波导的
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论文的主要研究内容是以LiNbO<,3>波导的扩散理论为基础,设计了适合我们器件的波导制作的参数,完成波导制作和提高耦合效率的实验.论文对芯片的结构做了初步的阐述,然后从波导的理论基础到工艺制作,折射率的测量,以及耦合特性进行了讨论和分析,整个工作为进一步设计声光可调滤波器奠定了基础.该文有特色的工作主要有: (1)对几种不同扩散条件下的LiNbO<,3>波导折射率做了计算,并用z切向的数值修正x切向的方法,得出x切波导的折射率值,这种方法可以推广到任何切向下. (2)讨论了采用棱镜耦合测量波导折射率的方法,并进行了测量,通过和测试结果的比较,验证了理论计算的正确性;对存在的问题分析其原因,并提出改进建议.(3)搭建了光纤和波导耦合系统,并通过模场传输法测量了光纤与波导模斑尺寸,根据测量结果讨论了波导和光纤耦合特性及满足最佳耦合条件的波导参数.
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