【摘 要】
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铁电体材料是一种自发极化材料,其自发极化产生的原因是由于其正负电荷中心发生偏移,由于其优异的光、热、电等物理性能,被广泛用于电子元件和半导体器件之中。钛酸钡(BaTiO_3(BTO))是铁电材料中的一种,其具有无毒、无污染特点及压电、热电等特性,被广泛用于陶瓷类电子器件和存储器中。BTO铁电相有:四方相、正交相、三角相,本文中主要研究四方相BTO(001)薄膜应变和其表面水分子脱附能之间的关系。B
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铁电体材料是一种自发极化材料,其自发极化产生的原因是由于其正负电荷中心发生偏移,由于其优异的光、热、电等物理性能,被广泛用于电子元件和半导体器件之中。钛酸钡(BaTiO_3(BTO))是铁电材料中的一种,其具有无毒、无污染特点及压电、热电等特性,被广泛用于陶瓷类电子器件和存储器中。BTO铁电相有:四方相、正交相、三角相,本文中主要研究四方相BTO(001)薄膜应变和其表面水分子脱附能之间的关系。BTO薄膜的应变和极化紧密相关,应变的增加会使铁电材料沿c轴方向的畸变增加,正负电荷中心发生更大偏移,导致
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