【摘 要】
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光学精细加工技术近几年发展较快,在微结构表面加工领域具有广阔发展空间。光学精细加工技术中,基于数字微反射镜器件(Digital Micro-mirror Device,DMD)的无掩膜扫描光刻技术能够生产微小的、轻量的、集成的三维微结构器件,在提高光刻效率和光刻精度的同时降低了光刻成本,因此DMD扫描光刻技术在军事、生物医药、信息处理等领域均有应用。DMD扫描光刻系统中的数字微反射镜器件(DMD)
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