【摘 要】
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采用离子束辅助沉积系统、增强型磁控阴极电弧镀膜沉积系统分别制备a-CN_x、CrN、TiCN、TiAlN碳氮化物薄膜。采用X-射线衍射仪以及X-射线光电子能谱表征了薄膜的结构及成分;通过球磨仪、非接触式三维形貌仪和纳米压痕仪测试了薄膜的厚度、表面粗糙度、硬度及弹性模量。同时,研究了a-CN_x薄膜在醇类水溶液中的摩擦学特性,研究了CrN、TiCN、TiAlN薄膜在空气、去离子水中的摩擦学特性以及不
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采用离子束辅助沉积系统、增强型磁控阴极电弧镀膜沉积系统分别制备a-CN_x、CrN、TiCN、TiAlN碳氮化物薄膜。采用X-射线衍射仪以及X-射线光电子能谱表征了薄膜的结构及成分;通过球磨仪、非接触式三维形貌仪和纳米压痕仪测试了薄膜的厚度、表面粗糙度、硬度及弹性模量。同时,研究了a-CN_x薄膜在醇类水溶液中的摩擦学特性,研究了CrN、TiCN、TiAlN薄膜在空气、去离子水中的摩擦学特性以及不同对磨球对其摩擦学性能的影响。采用光学显微镜以及电子扫描显微镜表征了摩擦副磨痕的形貌及成分,利用非接触式
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