目前,光学综合孔径技术已经成为增大望远镜口径、提高望远镜分辨率一种重要手段。子孔径间能否良好共相的问题制约着光学综合孔径望远镜的光学性能,子孔径间位移检测技术是光学综合孔径望远镜关键技术之一。本文研究了检测子孔径间台阶高度差的电感式位移传感器,为提高光学综合孔径望远镜集光能力,提高成像分辨率奠定重要的技术基础。建立了基于光学综合孔径望远镜电感传感器的数学模型,针对综合孔径的特点和系统对传感器的要求进行了传感器的结构参数设计,包括探头基本尺寸、线圈匝数及线径等主要参数。用多边形逼近和经验公式法两种计算方法对传感器探头进行仿真,通过比对验证仿真结果的正确性,分析了互感与位移的关系,对线圈参数进行优化设计。设计制作了锁相放大电路作为传感器的测量电路,对测量电路进行仿真,验证了原理的正确行,并对电路参数进行优化设计。对电感式位移传感器进行了静态标定。静态标定实验研究结果表明,所研制的传感器具有较宽的线性范围、较好的线性度和较高的灵敏度,可用于综合孔径望远镜共相的位移检测。