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依据多晶硅薄膜太阳能电池具有高性能、低成本的特点，廉价衬底材料成为产业化的关键。我们以廉价的颗粒硅带SSP(Silicon Sheets from Powder)为衬底，探索研究制备多晶硅薄膜的工艺技术。实验结果显示，等离子体化学气相沉积PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)法沉积的薄膜一般处于非晶状态，通过固相再结晶法伴随有杂质扩散污染，很难在硅带衬底上沉积到纯度高的多晶硅薄膜。 为了能制备出纯度高的多晶硅薄膜，我