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硅钢作为变压器铁芯不可或缺的材料,广泛应用于电力设备中,其拥有良好的软磁性能,特别地,当硅含量达到6.5wt%时,磁致伸缩几乎为零,低铁损、高矫顽力,几乎是完美的电工钢材料。CVD法是目前唯一实现工业化生产高硅钢的方法。本文基于CVD法制备高硅钢的原理,提出了晶界扩散在硅综合扩散中的重要作用,构建了一种硅体扩散和晶界扩散相结合的数值模型用于预测渗硅过程中硅含量的分布,并且分析了基材的前处理对渗硅效率的影响,对实现高硅钢的工业化生产有着重要的参考价值。基于CVD法要求搭建了实验室制备高硅钢的设备,测定