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超声换能器是一种在超声系统中进行声电转换的声学器件,其性能对超声系统至关重要。基于MEMS技术制备的压电超声换能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer, pMUT),相比于传统的超声换能器,具有易阵列化,集成度高,抗干扰能力强等优点,并且在实现高精度以及与IC工艺集成上有明显的优势。本文以MEMS压电换能器为研究对象,对MEMS压电换能器的材料及结构优化、制备及测试进行了系统的研究。在压电换能器的材料选择上,使用