投影光刻物镜高阶像差补偿系统的控制研究

来源 :中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) | 被引量 : 0次 | 上传用户:qijisama
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
其他文献
随着科技现代化和信息网络化的发展,在现代战场环境中,导弹作为高科技武器装备,正向着高精度和群集化发展,这对导弹的控制与制导研究提出了更高的要求。导弹控制系统模型通常具有非线性、强耦合的特点,复杂的飞行环境又导致其动力学特性和气动参数很难精准测得,且同时存在有外界干扰的影响。因此,设计具有良好鲁棒性和自适应性的控制律是解决上述问题的有效方案。通过提高控制系统的精度使得导弹能够快速响应制导指令,从而完
高速直喷式柴油机燃烧室结构对组织缸内油气混合与燃烧具有重要影响,设计恰当的燃烧室结构以实现合理的气流和喷雾运动,可以有效减少燃油附壁,促进油气混合和燃烧,是提升柴油机性能的有效途径。燃油喷射压力的不断提升使高速直喷式柴油机燃烧室结构向着大径深比、低面容比的方向发展,但仍存在着顶隙空间利用不充分、燃油喷雾扩散速度慢的问题。为解决这些问题,提出了双层分流燃烧室(Double-Layer Divergi
学位
随着机器人辅助手术系统在临床上日益广泛的应用,手术医生的训练、术前规划等问题已经成为亟待解决的问题,虚拟手术仿真系统作为解决这些问题的新途径也逐渐成为研究的热点。虚拟手术仿真系统可以解决传统手术培训中的诸多限制,并且基于软组织的三维重建也能够快速实现手术方案制定等过程。术前规划是手术的准备工作,对手术模拟的顺利进行至关重要。此外,在传统的机器人辅助虚拟培训系统中,医生在虚拟视觉的导引下操作主手,从
学位
在过去的四十年,中国经济经历了快速增长。与此同时,许多与交通相关的问题也都接踵而来,其中交通拥堵首当其冲。为了减轻交通拥堵的影响,各地地方政府出台了许多解决方案,例如:通过先进的交通信息系统(ATIS)向驾驶员提供出行信息。此类系统可以协助出行者做出更好的决策,并提高路网使用效率、减轻出行压力,但其效果在很大程度上取决于出行者对它的接受度。当前,已经有许多方法被用来研究出行者对ATIS的接受度。其
锂空气电池具有与汽油相仿远高于其他电源体系的能量密度,理论能量密度达11400 Wh/kg,实际可用的能量密度为1700 Wh/kg,是未来大容量高储能设备最有潜力的电源技术之一。然而,锂空气电池实用化仍面临许多问题,如充放电过电势高、倍率性差、循环性能差、电解液易分解等,其主要原因是充放电动力学速率缓慢。寻找高活性催化剂是解决锂空气电池动力学瓶颈的有效途径。电池动力学过程涉及电化学催化下的氧化和
学位
占地球表面积71%的海洋中存在波浪能,它以动能和位能的形式蕴藏于水体中,是一种分布广泛、储量丰富的海洋可再生能源。人类开发利用波浪能的活动由来已久,而进入本世纪以来,波浪能利用再一次成为全球范围的研究热点,逐渐形成了以振荡水柱、振荡浮子和越浪等为代表的三大类波浪能利用技术,以及相应的技术示范装备。点吸式波能转换装置(Point-Absorption Wave Energy Converter,PA
学位