光纤法珀加速度传感器是一种基于光纤法珀腔相位变化来计算加速度的传感器。加速度传感器结构小、灵敏度高,在航空航天、石油勘探领域具有广泛应用。目前传感器存在制作工艺难度大、方向交叉敏感度高等缺点,本文基于对传感器的理论模拟,优化了传感器的设计结构,提出一种全新的制作工艺,制做出高灵敏、低敏感的加速度传感器。基于ANSYS软件,对单臂、双臂、四臂、环臂四种结构类型的法珀加速度传感器建模分析,模拟加载加速度时分析传感结构的厚度以及直径大小、悬臂梁的长度、宽度、以及传感器整体外围直径等六个参数对传感器腔长变化的影响。结果发现,腔长随传感结构厚度线性增加、悬臂梁长度及外围直径指数增长、悬臂梁厚度以及宽度指数减少,而在传感结构直接取一定值时,腔长最大。单臂结构时,加速度传感器灵敏度最高。研究在相同结构参数下四种加速度传感器的方向交叉敏感度,发现单臂结构的加速度传感器方向交叉敏感度最高,而环臂结构时方向交叉敏感度最低,在各个方向上施加加速度时,对传感器造成的干扰均为零。随着传感器悬臂梁个数增加,灵敏度逐渐降低,方向交叉敏感度也依次变小。四臂结构的加速度传感器其灵敏度和方向交叉敏感度相对最佳,其腔长的最大变化量为0.556μm,X方向的交差敏感度为%179.0,Y方向上的交差敏感度为%172.0。在传统激光微加工制作工艺的基础上,提出新型的基于玻璃片的加速度传感器分块制作工艺。设计传感器的最佳参数结构并完成制作,测得该传感器的加速度灵敏度为0.73 rad/g,最小探测加速度值为1.37 mg,测量范围为-8 g~8 g。