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本文采用脉冲激光沉积(PLD)的方法制备了一系列的过渡金属氮化物薄膜，包括Co3N、Fe3N、N13N和Mn4N，并对薄膜的组成、表面结构、电化学性能以及薄膜电极的锂电化学反应机理进行了研究,采用355nm脉冲激光沉积的方法成功地制备了Co3N、Fe3N薄膜,通过XRD、SEM、XPS、TEM和SAED等表征手段考察了锂化前后薄膜电极的组成和结构变化，对薄膜电极的锂电化学机理进行了探讨，采用355nm脉冲激光沉积的方法成功地制备了Ni3N薄膜,采用355nm脉冲激光沉积的方法成功地制备了Mn4N薄膜。用充放电和循环伏安测试对该薄膜电极的电化学性能进行了表征,采用XRD，XPS和SEM对薄膜电极的化学组成和表面形貌进行了表征，探讨了它的电化学反应机理，认为Mn4N在反应过程中转化为金属Mn和Li3N，只有部分的Mn和Li3N参与了可逆的电化学反应。