光纤微流传感器因具有体积小、灵敏度高、样品容量小、可实时检测等优点被广泛应用于制药、生物化学传感以及环境污染检测等领域;另一方面,由于光纤具有重量轻、可集成度高、易复用等优点,“在纤式”光子器件得到了越来越多的应用,因此,如何制作光纤微流传感器引起了人们的研究兴趣。过去,人们经常利用现有的微结构光纤构建光纤微流传感器,其优点是使用方便且光传输损耗小,然而,由于光纤结构相对固定,且由于光波传输通道和微流体通道相互重叠或相互靠近,给实际应用带来一定的困难。近年来,随着飞秒激光刻写技术的进步及广泛应用,人们开始在光纤上通过打孔或开槽等操作制备微流传感器,这种技术操作灵活,且飞秒激光具有热损伤区域小、加工精度高等优点,获得了研究者的青睐。本文的主要工作有:(一)针对光纤传感器温度交叉敏感问题,提出并实现了一种基于激光微孔加工的温度补偿型光纤微流传感器,即采用飞秒激光诱导-水击穿的方法,在光纤布拉格光栅(FBG)和光纤镀金端面之间,刻写一条均匀尺寸的微孔通道。通过对该器件的单一反射光谱进行傅里叶分析,可同时得到FBG和法布里-珀罗(FP)谐振腔的光谱信息。实验表明,FBG和FP光谱对外界环境温度和折射率具有不同的响应特性:通过检测FBG光谱可获得温度变化信息,在FP光谱中减掉温度变化的部分,从而可得到温度补偿的折射率的变化信息。本文提出的传感器具有结构简单、集成度高、以及稳定性好等优点,在生物化学、医学等传感领域中具有良好的应用前景。(二)实现了一种基于微孔填充的相移光纤光栅,即采用飞秒激光微加工的方法,在布拉格光栅的中间引入一个微孔通道,通过填充不同物质,例如固体紫外胶等,在光栅的透射光谱中打开一个线宽很窄的透射窗口,带宽为0.06513nm。通过改变填充的物质,实现不同的光谱特性。我们分析了它的温度特性,相较于裸光栅而言,发现通过填充物质可使器件的温度稳定性得到一定的提高。该器件具有结构简单、稳定性好等优点,在光纤窄带激光器、掺铒光纤放大器增益平坦以及波分复用等领域具有潜在的应用价值。