超精密工作台是当今机械加工中必不可少的重要设备，它的定位精度直接关系到产品质量。但是实际加工的过程是复杂多变的，由于其存在参数时变、负载扰动、非线性以及难以建立数学模型等特点。所以有必要对系统的控制策略提出更高的要求。模糊控制以不依赖于被控对象的数学模型而被广泛的应用于工业生产中，可以很好地克服超精密工作台系统中的非线性，时变等因数的影响，同时与PID控制相结合可以提高系统的性能。 本文研究了超精密工作台系统的工作原理，采用模糊PID控制算法实现了对超精密工作台位置伺服系统的控制，提高了系统的控制性能；研究了模糊控制算法与PID控制算法的控制原理，利用模糊控制器的设计方法，实现了语言变量赋值表和模糊控制规则，并且由模糊控制规则生成了模糊查询表。采用PID控制器的设计方法，实现了PID控制器的设计；研究了计算机控制系统的工作原理，采用面向对象的编程方法，实现了模糊PID算法对超精密工作台位置伺服系统的控制；通过超精密工作台位置伺服系统在模糊PID控制算法下的静态特性实验与动态特性实验，实现了模糊PID控制算器中控制参数的选择、两种控制器在相互转换过程中误差阈值的选择、开环与闭环方式下超精密工作台系统定位精度的测量、系统动态特性的验证以及系统定位分辨率的验证。 实验结果表明，采用模糊PID算法实现超精密工作台位置伺服系统的闭环控制，使系统获得了较高的定位精度和较好的动态特性，是一种切实可行的位置伺服系统的控制方法，对同类超精密工作台伺服系统的控制有一定的参考价值。