【摘 要】
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该文提出的用最新相移干涉法对三维表面轮廓的测量是采用白光为干涉光源,CCD为传感器,压电陶瓷(PZT)提供微小位移,通过图象采集卡将白光进一步条纹的图象采集到计算机的内存.
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该文提出的用最新相移干涉法对三维表面轮廓的测量是采用白光为干涉光源,CCD为传感器,压电陶瓷(PZT)提供微小位移,通过图象采集卡将白光进一步条纹的图象采集到计算机的内存.采用计算被测工件上表面上种点发生干涉时的调制度的值来得到被测工件各点的相对表面高高的算法,利用计算机来精确控制压电掏瓷的微小位移和对大量的数据进行快速处理,是一种测量精度高,测量速度快,测量范围大的非接触性的测量方法,在现人工业测量中将具有广阔的应用前景.该文重点对软件算法进行了分析,并且实现了这些算法,特别是对原始的相对表面高度数据进行的滤波处理方面,采用Matlab语言作了大量的实验后得出了最佳的处理方法,最后对所测量的结构结构进行误差分析,得到了令人满意的结果.
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