微机电系统(MEMS)设计方法与工具对其产品化至关重要。MEMS具有功能结构高度集成、混合信号、多能量域耦合等特点，所以其系统级建模技术一直是MEMS CAD的研究重点之一。 MEMS微型压力传感器有广泛应用前途，但是其参数化可重用系统建模问题尚未解决。尤其是压力传感器的弹性膜片具有空间连续变形的特点，不能直接用一般的集总参数模型描述。因此，以具有空间连续行为的弹性膜片的可重用组件建模为重点，研究了微型压力传感器(压阻式和电容式)的系统级设计方法和建模工具问题。 主要工作如下： 1、根据多端口组件网络方法，确定了MEMS组件模型的建立规范。组件行为模型可采用硬件描述语言进行编码，重点分析了硬件描述语言不直接支持的偏微分方程转化为常微分方程的建模仿真方法。 2、研究了压敏电阻和空间连续变形弹性膜片的行为建模方法。依据单晶硅和多晶硅的压阻效应，并考虑压阻系数随温度、掺杂浓度的影响，可建立压敏电阻的参数化组件模型；准静态情况下，以板壳理论为基础，对弹性膜片的小挠度和大挠度变形进行力学分析，采用能量法建立其解析行为模型，并采用有限元分析验证了模型的精确性；对于弹性膜片的动态行为，可采用偏微分方程建立其动态行为模型。 3、基于所研发的压敏电阻、弹性膜片等组件模型，实现了压阻式和电容式压力传感器的系统级建模与仿真分析。与有限元分析或加工测试结果相比较，表明上述方法以及相关模型可以相对准确、高效地用于系统特性分析。