论文部分内容阅读
场发射平板显示(Field Emission Display,FED)是在研的新型平板显示技术。新型器件结构的研究,是FED技术研究的重点内容。本论文针对多栅结构形式的FED器件,基于电子光学透镜理论,利用有限元分析技术,将器件结构与驱动模式结合,模拟与分析三栅驱动FED器件的电子光学特性。具体地,在探讨FED工作原理基础上,介绍了在双栅结构FED器件中引入第三栅极以降低控制栅极工作电压的方案以及三栅极结构FED器件发光单元的结构组成。为了获得三栅极结构FED的电子光学特性及其驱动特性,引入了有限元分析方法,借助COMSOL MULTIPHYSICS分析软件对三栅极结构FED器件进行了模拟。通过改变栅极结构参数,对电极工作电压、电子发射和电子透过率、电子在阳极上形成的光斑进行计算和分析,获得栅极结构与器件电子光学特性,并确定出了三栅极结构FED器件的发光单元结构参数和工作电压最优化方案:透射孔半径r=150μm;中央栅极厚度d=50μm;阴栅高度h=5μm;中央栅极电压VM=-390V;上栅极电压VUP=20 V时,电子透过率为100%,阳极电子斑半径最小为70μm。本文结果对三栅极结构FED器件研制有指导和参考价值。