椭偏测量技术(SE)是一种研究表面、界面和薄膜分析的光学技术。SE是通过对偏振光在样品表面反射前后偏振态的改变进行分析来获取薄膜样品的结构信息,它的应用不仅限于测量得到材料的厚度和特性,它还被开发用于控制过程中信息收集、几何因素、各向异性、缺陷和纳米结构的量子束缚效应。本论文主要工作如下：(1)原位研究聚苯乙烯薄膜溶胀/收复缩行为,实验利用自制的样品池,将以硅片为基底的聚苯乙烯薄膜在四氢呋喃气氛下溶胀,然后在乙醇气氛下收缩,利用单波长实验跟踪薄膜结构的动态变化,描述薄膜溶胀/收缩行为。(2)多波长实验分析薄膜在不同状态下的结构信息,并结合原子力显微镜、偏光显微镜表征样品表面形貌变化。实验结果表明薄膜厚度增减呈非线性关系,最大溶胀率和薄膜厚度变化依赖于薄膜初始厚度和气氛强度。(3)利用原位方法研究聚辛基芴的相转变行为。