随着工业技术的不断发展与完善,掩膜版在光刻领域应用十分广泛。然而制造加工以及运送过程中,表面易积累灰尘杂质,影响导体或半导体检测精度。确保每一块掩膜版表面洁净度,对研发者和制造者来说至关重要。本文分析了人工检测掩膜版表面灰尘杂质存在的不足,设计了一套基于机器视觉技术的掩膜版表面灰尘杂质检测系统,对检测系统进行了研究,提高检测系统的准确性,使掩膜版表面灰尘杂质检测更为便捷。研究内容主要包括以下几个方面:1、研究了掩膜版翻转检测台存在机械结构设计上的缺陷,对掩膜版表面灰尘杂质检测平台的托臂、丝杠、联轴器以及电机进行了研究选型。2、分析了掩膜版表面灰尘杂质检测系统中图像获取系统,完善了图像获取系统的LED灯箱、CCD工业相机、测距传感器、压力传感器的选型与设计。3、基于LabVIEW掩膜版表面灰尘杂质虚拟检测仪器,对采集到的图像进行不同平面的颜色抽取,获取掩膜版表面灰度图,同时应用直方图均衡化实现灰度图像增强,达到对掩膜版表面灰尘检测的目的。