用溶胶-凝胶法制备了掺杂CuO的纳米级SnO₂/TiO₂的复合溶胶,再用旋涂法在普通玻璃基片上镀膜,经干燥和煅烧等热处理后获得CuO掺杂的不同层数和复合形式的薄膜,包括:TiO2薄膜、CuO/TiO2薄膜、混合型及叠层SnO₂/TiO2复合薄膜以及掺杂CuO的SnO₂/TiO2混合、叠层的复合薄膜,通过对照实验探究了掺杂含量、热处理温度、复合形态等因素对样品结构和性能的影响。以XRD、SEM、TEM、EDS、UV-Vis等方法对薄膜作了表征,并以甲基橙为探针考察了薄膜样品的光催化性能。结果表明:薄膜材料的晶型为锐钛矿型,结晶度也较高;表面未出现明显开裂,薄膜平整致密,结合强度好、颗粒大小均匀,粒径分布在20 nm左右;EDS表明所得薄膜中成功引入Cu元素,出现与之一致的元素谱形;UV-Vis结果显示掺杂CuO以及SnO₂与TiO₂形成复合结构使得在紫外-可见光区的吸收强度都比原来TiO2明显加强。光催化性能实验表明CuO掺杂的SnO₂/TiO2复合薄膜对甲基橙等染色剂的降解效率较掺杂前明显提高,同样条件下,掺杂CuO的叠层复合薄膜样品对甲基橙的光降解效果优于混合结构,并在glass/SnO₂/TiO2:CuO（10%CuO摩尔比）时光催化效率达到最高。