利用自然对流气体在密闭腔体中的“摆”特性研制的微机械气流式水平姿态传感器的敏感质量是气体，质量几乎等于零，因此，它有承受高过载、响应时间短等特点。这种传感器不仅可以检测倾斜角度，同时也可以检测加速度。可用于头盔、通讯、消费电子和玩具业等领域中。　　 微机械气流式水平姿态传感器是利用气体摆理论研制的，其原理是当传感器所在平面相对水平面倾斜时，密闭腔内气流速度变化作用在两个金属薄膜热敏电阻上来实现角度测量。　　 本文首先分析了微机械气流式水平姿态传感器的工作原理，确定了它的结构。并且建立了微机械气流式水平姿态传感器的三维有限元模型，采用有限元方法，利用ANSYS-FLOTRAN CFD软件，通过建模、划分网格、加载和求解等途径，计算出密闭腔体的温度场以及气流速度在不同倾斜状态下的分布。　　 另外，设计了微机械气流式水平姿态传感器的信号提取电路，即对原始信号的测量、放大和滤波。最后设计了补偿电路，利用MSC1214单片机，在事先通过实验获得传感器输出数据的基础上，对传感器进行零位、灵敏度和线性补偿。结果表明，温度补偿后，使微机械气流式水平姿态传感器的零位漂移和灵敏度漂移得到了有效控制，灵敏度温度系数从≤2.3mV/°/℃下降到≤0.2mV/°/℃，工作温度从常温扩展到-30℃～+30℃，在此温度范围内零位电压变化量从≤0.206V下降到≤0.01V；采用线性补偿后，传感器在满量程范围内的非线性度从≤4.08％下降到≤0.2％。