【摘 要】
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微器件装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统(MEMS)的关键技术之一.精密工作台系统则是微装配系统的一个重要组成部分.该论文综述了微器件装配技术的国内外现状、微装配
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微器件装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统(MEMS)的关键技术之一.精密工作台系统则是微装配系统的一个重要组成部分.该论文综述了微器件装配技术的国内外现状、微装配系统的总体方案及技术关键.设计制造了精密工作台系统,包括精密机械及其传动系统、光栅定位系统、直流力矩电机驱动系统及计算机控制系统.论文阐述了它们的工作原理和特点,编制了相应的控制软件.该系统具有手动控制、定时控制和给定位移控制三种控制方式,使系统控制灵活方便,满足微器件装配系统的运动要求.对该系统的精度进行了全面分析,建立了对系统累积误差实时修正装置,并进行了该系统的实验.实验结果表明系统的最高速度为5mm/s,最低速度为3.8μm/s,系统的重复定位精度<±1μm,满足微器件装配系统的要求.
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