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RTP技术和选择性发射极结构是非常有前景的低成本晶体硅太阳电池工业化技术,其掺杂方式主要是用丝网印刷磷浆的方式。本文用聚合物为载体,成功地研制了具有很好稳定性的丝网印刷特性的磷浆,且磷浆浓度可控,印刷时粘度有较宽的适宜范围,热分解比较完全,且比国外的相关产品有更高的pH值,从而减小了对不锈钢丝网的腐蚀性。通过在常规扩散炉和快速扩散炉中使用,可以得到如下结论:1)扩散后方块电阻显示了很好地均匀性和重复性;2)磷浆的杂质浓度、扩散温度、时间对扩散后的表面浓度有影响,扩散时间对结深有影响,这与常规扩散结果