测量系统分析(MS A,Measurement System Analysis)是一种关于检验的分析工具,是ISO/TS16949汽车行业质量管理体系中的五大工具之一。测量系统分析源于国外,但现在已经越来越被国内制造型企业所重视,因为它是一种比较系统,比较全面的客观数据分析工具,是质量管理的重要手段之一。本论文将测量系统分析工具导入到半导体材料测试过程中,简要介绍了相关理论和方法,包括主要特性、计量型、计数型分析方法等。重点还是结合本单位的实际情况,分析了测量系统存在的问题,研究了各个测量过程中需要导入的特性方法,提出详尽的实施方案,内容包括方案设计原则、方案内容框架、计量型测量系统的分析、计数型测量系统的分析。最后对方案进行实施和效果评价,制定测量系统分析程序书及指导书等。本论文用实际例子详细说明了在H公司中应用测量系统分析的方法,通过应用此方法,发现了一些之前未曾发现的设备问题、人员操作方法等问题,经过整改,保证了数据的一致性、机器的稳定性,缩小了人员主观判定的差异性,极大程度地保证了测量的准确性,避免了错漏检的发生,为了保证产品质量做出贡献。希望通过本论文,国内其它制造型企业能够关注和使用此方法和工具,改进和提高企业的质量管理水平。