【摘 要】
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基于扭臂式微镜的MEMS光开关广泛应用于光通讯、光计算、投影显示、高清晰度电视等各种设备中。其主要性能指标有响应速度、插入损耗和能耗等。针对提高其响应速度的主要研究方向之一就是减少施加阶跃电压以后产生的振荡。为了抑制振荡，之前的研究中已经有了一些反馈控制方法的介绍。但是扭转角度的实时检测、控制系统的复杂性使得这些方法的工程应用还存在一定的障碍。为此，本文提出通过结构优化设计，从而合理利用微镜气膜阻
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基于扭臂式微镜的MEMS光开关广泛应用于光通讯、光计算、投影显示、高清晰度电视等各种设备中。其主要性能指标有响应速度、插入损耗和能耗等。针对提高其响应速度的主要研究方向之一就是减少施加阶跃电压以后产生的振荡。为了抑制振荡，之前的研究中已经有了一些反馈控制方法的介绍。但是扭转角度的实时检测、控制系统的复杂性使得这些方法的工程应用还存在一定的障碍。为此，本文提出通过结构优化设计，从而合理利用微镜气膜阻尼来抑制其振荡的方法。首先建立了含气膜阻尼的系统动力学模型，其次为了减少残余振动，以对压膜阻尼
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