磁悬浮驱动技术是通过通电电磁铁与导磁体产生的磁力为驱动力来对物体进行驱动，其具有无机械接触摩擦，不产生灰尘，无需润滑，响应速度快，吸引力可调范围宽，结构简单等优势。而将磁悬浮驱动技术应用于工业及其它相关领域，对其发展有着极其重要的意义。本文研究了一种激光切割头用电磁悬浮驱动器。在铅直方向利用环形永磁铁与方形永磁铁产生的永磁支撑力对悬浮部分进行支撑。在水平方向通过每对电磁铁之间的差动控制产生的驱动力，克服永磁干扰力对悬浮部分进行驱动。其有效的将永磁悬浮技术与电磁驱动技术相结合，充分利用了各自的优势，对激光切割头中的激光束的焦点的位置进行调整。分别对驱动器中的悬浮部分的磁感应强度，不同位置的悬浮部分与支撑部分的磁感应强度，不同位置的悬浮部分、支撑部分与驱动部分的磁感应强度进行了有限元分析。结果表明在电磁驱动器对悬浮部分进行控制过程中，永磁铁的磁场对电磁铁的影响很小，可忽略不计。通过对电磁驱动器中各位置的铅直方向的永磁支撑力、水平方向的永磁干扰力仿真分析，以及对电磁驱动力的理论分析与实验验证，确定了驱动器在水平方向与铅直方向的气隙间距。根据电磁驱动力的数学模型及拉格朗日原理，建立了三自由度电磁驱动的动力学模型及控制系统的仿真模型，并对其进行了仿真和实验分析，验证了系统的动态特性。分析结果表明该系统具有很好的动态特性。