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目前，包括我国在内的多个国家成功研制了不同结构的激光直写系统，应用于如集成电路制造、微光学元件加工、MEMS、光学检测、光学防伪等多个行业中，因此，激光直写系统的研制工作备受关注。Holomaker-Ⅲ-B新型激光直写系统在光学及机械结构上已基本成形，本课题从实际应用出发，旨在对系统的性能作详细分析，在光路的硬件装配、数据处理方案、控制软件及应用工艺上对该系统进行全面的优化设计和性能提升。通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装，将DMD代替原来的方形光阑做为输入空间光调制器，把数字反射镜(Digital Micro-mirror Device，DMD)上的图像干涉成像在光刻胶板上，得到一个缩小倍率的、高质量的任意干涉光斑图形。此系统分辨率能够达到6000DPI，能够制作出高质量的光变图像，例如2D图像、2D／3D图像、3D图像以及各种精密的微刻图像和文字，并给出了实验结果。相对于传统的逐点光刻的形式，Holomaker-Ⅲ-B系统是以逐面光刻成功制作了2D图像、2D／3D图像、3D图像、各种精密的微刻图像和文字以及二元光学元件。逐面光刻除了速度上比逐点光刻快很多，而且在制作的质量和难度上都有着很大的进步。本课题通过对系统硬件软件设计及应用的深入研究，得出了Holomaker-Ⅲ-B系统一套高性价比的、实用化的实验研究设备，用其制作的部分元件已得到工业化应用。