本文对各种常压等离子体源进行了概括和比较，并介绍了它们在光谱分析、材料、医学、环境保护、军事等领域的广泛研究和应用。常压等离子体源因为不需要配套真空设备，在成本、体积、维护方面具有不可比拟的优势，具有广阔的应用前景。 基于常压等离子体的诸多优点，实验室自行设计了常压微波等离子体射流装置进行了处理工业废气的研究。该装置在大气压下稳态运行，放电强度高、气体的离解度高、对废气的处理效果好。采用控制淬冷工艺在消除废气污染的同时能够回收到不同粒径和结晶程度的纳米副产品，节约成本，符合大规模工业应用和建设资源节约型社会的要求。 对回收到的纳米材料进行了Raman、XRD、SEM、HRTEM、EDAX、FTIR以及发射光谱分析，并探讨了该技术在工业上的潜在应用前景。