MoS₂作为二维材料的典型代表,广泛应用于光电器件、新能源存储和功能传感等领域。湿度传感器作为功能传感器件之一,广泛应用于环境监测、工业生产、气象监测和食品药品存储领域,因此对湿度传感器的研究尤为重要。本文采用化学法和水热法,制备了ZnO量子点（QDs）、SnO₂ QDs、MoS₂纳米片、MoS₂@ZnO QDs纳米复合材料和MoS₂@SnO₂ QDs纳米复合材料。利用上述材料作为感湿材料制作相应的湿度传感器,并对其湿度敏感性能进行研究,分析相应的湿度传感器的湿敏机理。主要研究内容包括以下两部分。1、用化学法制备了ZnO量子点,用水热法结合化学法的两步水热法制备了MoS₂@ZnO QDs纳米复合结构材料。采用XRD、SEM、EDS和TEM表征了所制备材料的表面形貌、晶体结构和组分分布。结果表明:ZnO材料为典型量子点结构,粒径分布集中;MoS₂材料具有明显的片状结构;MoS₂@ZnO QDs为两者复合结构,并且富含孔洞。利用上述材料制作了MoS₂和MoS₂@ZnO QDs湿度传感器,利用智能湿敏测试系统测试了其湿敏性能。结果表明:在10 Hz¹00 kHz的频率范围内,最佳工作频率为100 Hz;在工作频率100 Hz,室温下,全湿度变化范围11%⁹5%RH内,MoS₂@ZnO QDs湿度传感器的阻抗变化值超过四个数量级,相对于纯MoS₂湿度传感器提高了2³个数量级,并且循环稳定性能优越;MoS₂@ZnO QDs湿度传感器相对于纯MoS₂湿度传感器响应恢复时间大幅缩短,分别从47/65 s缩短到1/20 s,相对于纯MoS₂湿度传感器实现了超快响应和较快恢复。最后,我们结合复阻抗谱,分析了MoS₂@ZnO QDs湿敏材料的湿敏机制,发现量子点结构的引入是响应恢复时间缩短的主要原因。2、用水热法制备了SnO₂量子点,用两步水热法制备了MoS₂@SnO₂ QDs纳米复合结构材料。采用XRD、SEM和TEM表征了所制备材料的表面形貌、晶体结构。结果表明:SnO₂材料为典型量子点结构,MoS₂@SnO₂ QDs为两者复合结构,并且富含孔洞。利用上述材料制作了MoS₂@SnO₂ QDs湿度传感器,利用智能湿敏测试系统测试了MoS₂@SnO₂ QDs湿度传感器的湿敏性能。结果表明:在10 Hz¹00 kHz的频率范围内,最佳工作频率为100 Hz;在工作频率100 Hz,室温下,全湿度变化范围11%⁹5%RH内,MoS₂@SnO₂ QDs湿度传感器的阻抗变化值接近五个数量级,相对于纯MoS₂湿度传感器提高了3个数量级,并且循环稳定性能优越,恢复性能极佳;MoS₂@SnO₂ QDs湿度传感器相对于纯MoS₂湿度传感器响应恢复时间大幅缩短,从47/65 s缩短到4/30 s,相对于纯MoS₂湿度传感器实现了超快响应和快速恢复。最后,结合复阻抗谱,定性的解释了MoS₂@SnO₂ QDs材料的湿敏机制。