超声近场悬浮现象的实验研究

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【摘要】

：

在半导体行业和精密加工领域中,已有的夹持方法渐渐无法继续满足要求,研究探索新的非接触夹持方法成为亟需。超声波近场悬浮(Near-field Acoustic Levitation简称为NFAL)是指使用具有高功率密度的超声波作用于固态物体,使物体悬浮在超声辐射器辐射表面上方附近的一种悬浮现象。相比于其他悬浮类型,超声近场悬浮具有较强的抗电磁干扰和抗静电干扰的能力,同时更为适合精华与超净化作业要求。

【作者】

：

李世彪

【机构】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2013年04期

【关键词】

：

超声近场悬浮声压场测量声压场分布悬浮稳定性正交光学三角法

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