【摘 要】
：
在半导体行业和精密加工领域中,已有的夹持方法渐渐无法继续满足要求,研究探索新的非接触夹持方法成为亟需。超声波近场悬浮(Near-field Acoustic Levitation简称为NFAL)是指使用具有高功率密度的超声波作用于固态物体,使物体悬浮在超声辐射器辐射表面上方附近的一种悬浮现象。相比于其他悬浮类型,超声近场悬浮具有较强的抗电磁干扰和抗静电干扰的能力,同时更为适合精华与超净化作业要求。
论文部分内容阅读
在半导体行业和精密加工领域中,已有的夹持方法渐渐无法继续满足要求,研究探索新的非接触夹持方法成为亟需。超声波近场悬浮(Near-field Acoustic Levitation简称为NFAL)是指使用具有高功率密度的超声波作用于固态物体,使物体悬浮在超声辐射器辐射表面上方附近的一种悬浮现象。相比于其他悬浮类型,超声近场悬浮具有较强的抗电磁干扰和抗静电干扰的能力,同时更为适合精华与超净化作业要求。但目前对于近场声压分布的规律还缺乏必要的认识和了解,复杂形状物体的悬浮要求始终无法得到有效解决,对于近场
其他文献
虚拟齿轮测量中心是采用虚拟技术以真实齿轮测量中心为原型开发的一套软件系统,主要用于完成真实齿轮测量中心的运动和测量过程仿真及数据处理与分析,可针对采用三角面片构建
车齿法是一种高效率高精度的齿轮加工工艺,相比传统的滚齿、插齿加工工艺效率更高,且应用范围非常广,特别是对于非贯通的螺旋内齿轮加工,具有明显的优势。车齿刀具作为车齿工
该论文的主要研究目的是开发一种环保型的黑色人发漂白新工艺及制得品质更高的人发.人发拉伸改性后的强伸性能是该论文的研究重点之一.人发属于α—角蛋白纤维,对其进行物理
你可以想象一下这样的场景:汽车行驶在高速公路上,两旁的路标正以每小时150公里的时速向后退去,带出嗖嗖风声.司机昏昏欲睡.方向盘开始向左偏.
水利防汛是一项重要的工程措施,可以有效减轻洪水灾害损失.为确保水利防汛工作的有序开展,可对水情遥测技术进行合理应用.基于此点,本文从水利防汛的重要性分析入手,论述了水
随着航天航空科技的发展,柔性构件在航空中应用越来越广泛。由于其具有提高运行速度、降低能耗、提高精度等诸多功能,逐渐成为研究的热点和前沿。但同时由于其柔性特性使得其
现如今,我国水利工程的建设随着我国的经济的快速发展而增多,在水利工程建设中,更加注重质量管理.质量管理是各行各业都很专注的核心环节,尤其是基层水利工程建设这一块更是
被誉为“全国最佳健康老人”、“军中不老松”的孙毅将军,一九○四年五月生于河北省大城县,是全军迄今最长寿的老一代革命将领。如今,这位九十九岁的老将军正在向百岁发起冲
水利是国家的主要能源之一,为国家经济发展做出巨大的贡献.而围堰技术是水利工程施工当中的关键性施工技术,直接影响到了整个水利工程的安全性和稳定性,从现阶段我国水利工程
对机械设备的振动信号进行分析可以实现机械设备的故障诊断,工程中遵循采样定理的振动信号采集会产生大量的数据,巨大的数据量增加了存储和传输的负担。压缩感知是一种新型的信号采样框架,通过线性投影同时实现了信号的采样和压缩,减轻了采集端的硬件消耗,但是压缩感知中的信号重构是较为复杂的,因此压缩感知是将信号的采集成本转移到了计算成本上。在研究压缩感知数学原理的基础上,建立了机械振动信号采集和重构模型。模型由