ZnO-TCO薄膜的制备及掺杂性能的研究

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【摘要】

：

氧化锌透明导电薄膜(ZnO-TCO)是一种新型的Ⅱ-Ⅳ族直接宽禁带半导体材料,晶体结构属于六角纤锌矿结构。其特有的光学与电学特性,被广泛用于各领域中,例如通信、微电子及光电子等领域。关于ZnO薄膜的制备方法及掺杂元素的探究,一直是这领域的研究方向,作为透明导电薄膜,光学高透过性与高导电性的矛盾,特别是近红外光谱域透过率过低的问题也一直存在,围绕这些问题,开展了一些工作。1、为了提高近红外的透过率,

【作者】

：

刘细妹

【机构】

：

景德镇陶瓷学院

【发表日期】

：

2015年01期

【关键词】

：

氧化锌透明导电薄膜磁控溅射溶胶凝胶法掺杂性能

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