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电容式加速度计广泛应用于国防、航空航天、汽车、通信等军用民用领域,是当前市场的主流和研究的热点。随着应用领域的不断扩大,单双轴电容式加速度计已无法满足使用的需求,三轴电容式加速度计集成成为重要的发展方向之一。本课题旨在研制一种基于单一敏感质量的三轴电容式加速度计,重点从电容式单质量三轴加速度计的结构设计、仿真优化和工艺制作三方面入手,研究提高器件灵敏度、降低非线性度、减小布朗噪声和交叉轴灵敏度的方法。本文首先针对平板电容的检测方法和结构进行分析研究,提出电容式单质量三轴加速度计的结构模型,分析其工作