大相对口径非球面加工工艺研究

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为了实现大相对口径非球面的高精度加工,解决这一领域面临的难题,本文针对大相对口径非球面的加工工艺进行了深入的研究。首先,根据普林斯顿假设建立数学模型,确定加工的基本思路。然后,对加工中存在的“边缘效应”问题进行了深入的探讨,并对加工过程中抛光模、抛光液的选择进行了具体分析,通过多次实验对比确定了加工参数。最后,采用计算机表面成型技术进行加工,使用轮廓仪进行面形检测,对面形误差进行分析。实验结果表明,口径为76mm的平凹非球面透镜,加工后面形误差为0.3μm,表面光洁度Ⅲ级,中心偏差0.8μm
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