褶皱是一种广泛存在的自然现象，在仿生制造、柔性电子技术、薄膜计量学等方面有着广阔的应用前景。本文针对薄膜/基底这一类结构，利用ABAQUS有限元软件进行模拟，通过线性特征值屈曲分析和非线性屈曲分析，研究了薄膜/基底结构的屈曲问题，分析微结构表面纳米褶皱的生成机理，得到褶皱纹理与结构的初始几何参数（基底初始厚度、微结构初始尺寸、薄膜初始厚度等）、材料参数（杨氏模量、热胀系数等）和外加载荷（温度、预应变等）之间的变化规律。本文的主要内容如下：（1）介绍了屈曲临界应变、临界波长和屈曲幅值的解析解。再介绍了ABAQUS屈曲分析方法，通过薄膜褶皱屈曲的仿真实例，详细介绍了特征值屈曲分析、非线性屈曲分析的操作步骤，并对仿真结果进行了分析。（2）针对基底厚度很厚和很薄两种情况，通过有限元仿真，研究了薄膜的表面屈曲行为，并分析了临界波长与材料参数、几何参数间的关系。对基底很薄的情况，将有限元解和解析解进行比较。（3）通过有限元仿真，研究了带有半圆微结构的薄膜基底结构屈曲问题。详细分析了临界应变、临界波长和薄膜基底结构的材料参数、几何参数之间的关系。（4）通过线性特征值热屈曲分析，研究柱形芯壳结构的屈曲行为。详细介绍了热屈曲分析的详细步骤，并分析了薄膜厚度、弹性模量对屈曲波数的影响。