【摘 要】
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该文首先研究了利用溶胶-凝胶法制备颗粒度为纳米量级的复合氧化物BaSrTiO湿敏材料的过程,通过实验探索出溶胶-凝胶法制备BaSrTiO材料的试剂及其用量和溶液的酸碱度,从而得到
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该文首先研究了利用溶胶-凝胶法制备颗粒度为纳米量级的复合氧化物Ba<,1-x>Sr<,x>TiO<,3>湿敏材料的过程,通过实验探索出溶胶-凝胶法制备Ba<,1-x>Sr<,x>TiO<,3>材料的试剂及其用量和溶液的酸碱度,从而得到了具有团聚度小、颗粒度小、比表面积大的Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>材料,并通过掺杂碱金属有效地降低了材料的阻抗,得到了较常规的复合化合物更为理想的湿敏特性.还利用电介质物理中的极化理论解释了Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>材料的感湿机理,并通过测量材料复阻抗的方式,研究了Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>材料在不同湿度环境下的导电粒子.由于气体传感器的结构对气敏材料发挥其敏感特性有很大的影响,该文又研究了新型的Si基微结构型的气体传感器的设计.首先,通过理论的近似计算,初步设计出气体传感器的结构,并相应的设计出制备该气体传感器衬底的工艺流程,完成了各版图的设计.随后,通过有限元模拟和分析的方法,对所设计的传感器结构做了热场和热应力场的分析,进一步优化了设计方案.
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