【摘 要】
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在当今精密位移测量领域各类栅式位移测量技术被广泛应用，其中技术性最强、发展最快的是光栅位移测量技术。随着光栅刻划工艺和电子细分技术的不断发展，光栅位移测量仪器的分辨率大大提高。目前已能达到纳米级。近年来，智能仪器在测量过程自动化、测量功能多样化、测量数据处理以及人机交互方面，都取得了巨大发展。本学位论文的任务是对原有的小位移测量实验装置进行智能化改造和多功能扩展，最终使其满足商品化要求。该小位移测
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在当今精密位移测量领域各类栅式位移测量技术被广泛应用，其中技术性最强、发展最快的是光栅位移测量技术。随着光栅刻划工艺和电子细分技术的不断发展，光栅位移测量仪器的分辨率大大提高。目前已能达到纳米级。近年来，智能仪器在测量过程自动化、测量功能多样化、测量数据处理以及人机交互方面，都取得了巨大发展。本学位论文的任务是对原有的小位移测量实验装置进行智能化改造和多功能扩展，最终使其满足商品化要求。该小位移测量仪采用光栅位移测量技术，主要应用于毫米级量程、纳米级精度的测量场合，可对零件尺寸和升降台位移进
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