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随着电子信息技术的不断发展,磁性薄膜在电子学领域已占据了不可或缺的地位与作用。因此,磁性薄膜性质特点的研究成为了当今时代广大研究者关注的热点之一。磁各向异性场是磁性薄膜磁性的重要参数之一,其大小会影响磁性薄膜自然共振频率的大小。倾斜溅射技术在磁性薄膜的制备过程中是最为常用的一种制备方法,利用这种方法可以在薄膜中诱导出一定的磁各向异性。通过改变倾斜溅射角度的大小不仅可以调控磁性薄膜磁各向异性场的大小,而且还可以产生取向确定的有效磁各向异性场。通常,倾斜溅射技术会产生一个初始取向垂直于溅射原子束流面内投影方向的有效磁各向异性场,并且有效磁各向异性场的大小随着倾斜溅射角度的增大而增大;特殊条件下,在不同成分的材料中,倾斜溅射技术则会产生初始取向平行于溅射原子束流面内投影方向的有效磁各向异性场,其有效磁各向异性场的大小也随着倾斜溅射角度的增大而增大。对于以上两种情况,在不同的材料中,随着倾斜溅射角度的不断增大,有效磁各向异性场的取向也会发生不同的变化,即当倾斜溅射角度增大到一定值时,磁各向异性场的取向会发生90°的翻转,从垂直（平行）到平行（垂直）于溅射原子束流面内投影方向的翻转;或者始终保持不变,只是大小有所变化。本论文研究了倾斜溅射技术对材料成分不同的磁性薄膜磁各向异性的影响规律,并且为了了解磁各向异性在不同温度下的变化情况,利用具有各向异性热膨胀性能的聚偏氟乙烯（PVDF）作为衬底材料结合倾斜溅射技术研究了温度对磁各向异性的影响规律。首先,室温下,在无任何诱导因素的条件下,利用倾斜溅射技术制备了一系列材料成分不同（FeCoTa、FeCoB、FeNi）的磁性薄膜,研究了倾斜溅射技术对材料成分不同的磁性薄膜磁各向异性场取向的影响。研究发现,在FeCoTa和FeCoB材料的磁性薄膜中,有效磁各向异性场的初始取向均平行于溅射原子束流面内投影的方向,场的大小均也随着倾斜溅射角度的增大而增大,并且当倾斜溅射角度增大到一定值时,两者的有效磁各向异性场的取向均发生了90°的翻转。而在FeNi材料的磁性薄膜中,有效磁各向异性场的取向垂直且始终垂直于溅射原子束流面内投影的方向,其场的大小也随着倾斜溅射角度的增大而增大,且当倾斜溅射角度增大到一定值时,其有效磁各向异性场的大小较前者会有所减小。再者,我们利用具有各向异性热膨胀性能的聚偏氟乙烯（PVDF）作为衬底,研究了FeCoTa、FeCoB及FeNi磁性薄膜在倾斜溅射角度分别为0°、25°、45°、65°、75°下的磁各向异性的变化情况,同时研究了磁各向异性在一定温度范围内的变化规律。经研究发现,FeCoTa磁性薄膜的磁各向异性强度随倾斜溅射角度的增大均呈现先增大后减小再增大的趋势。同时,当时,沿a32方向生长的FeCoTa磁性薄膜,其磁各向异性强度随着温度的升高而呈现先减小后增大的趋势,而当时,其磁各向异性的强度随温度的升高则呈现递增的趋势;而对于沿a31方向生长的FeCoTa磁性薄膜,当倾斜溅射角度或时,其磁各向异性的强度随着温度的升高均呈现先减小后增大的趋势,而当时,磁各向异性强度随温度的升高则呈现持续递增的趋势。FeNi磁性薄膜的磁各向异性强度随着倾斜溅射角度的增大均呈现先增大后减小的趋势。同时,当时,沿a32方向生长的FeNi薄膜,其磁各向异性的强度随着温度的升高呈现先减小后增大的趋势;而当时,磁各向异性强度随温度的升高均呈现持续递增的趋势。而对于沿a31方向生长的FeNi薄膜,除了无倾斜溅射外,在其它倾斜溅射角度下,薄膜的磁各向异性强度随着温度的升高均呈现持续递减的趋势。不同材料成分的磁性薄膜,磁各向异性的强度随倾斜溅射角度和温度的变化均呈现不同或者类似的变化规律。FeCoB磁性薄膜也具有与以上两种材料相类似和不同的结果。最后,对本论文的工作进行了总结,提出了工作中存在的不足,同时对本工作进行了后续工作的展望与讨论。