【摘 要】
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随着科学技术的发展,许多领域对精密驱动的要求越来越高,不仅要有较高的分辨率,而且要有足够的输出力和较大的输出刚度。传统的电磁驱动器已经不能满足这些要求,压电尺蠖式压电电机的出现就是为了满足了这些要求,因而得到了国内外的广泛关注,国内外研究者成功研制了各式各样的压电尺蠖式驱动器。压电尺蠖式直线电机一般具有两个箝位装置和一个驱动装置,采用仿生运动原理“箝位—驱动—箝位”,从而实现双向、步进运动。由于箝
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随着科学技术的发展,许多领域对精密驱动的要求越来越高,不仅要有较高的分辨率,而且要有足够的输出力和较大的输出刚度。传统的电磁驱动器已经不能满足这些要求,压电尺蠖式压电电机的出现就是为了满足了这些要求,因而得到了国内外的广泛关注,国内外研究者成功研制了各式各样的压电尺蠖式驱动器。压电尺蠖式直线电机一般具有两个箝位装置和一个驱动装置,采用仿生运动原理“箝位—驱动—箝位”,从而实现双向、步进运动。由于箝位装置的变形相对一般加工的公差较小,移动部件和非移动部件之间的间隙很难保证,所以压电尺蠖式电机对加工和装
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