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微机械加速度计作为一种重要的惯性器件，在汽车、消费电子、惯性制导等方面有广泛的应用前景。性能指标的提高一直是微机械加速度计领域的重要研究方向。其中，检测电路的性能对加速度计整体性能起着日益重要的决定作用。本文针对变面积电容式微机械加速度计，设计了单路载波调制型检测电路。同时对闭环检测电路进行了初步研究。这些研究内容为微机械加速度计检测电路的合理选择和优化设计提供了理论依据，对微机械加速度计的工程化具有一定参考意义。论文研究工作主要包括以下内容：