精密光学玻璃平板检测仪器的隔振系统优化设计

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伴随着科学技术的不断进步,精密加工设备和精密测量仪器的精度也在逐渐提高。来自环境的振动干扰对精密仪器的测量精度的影响不可忽略,精密测量仪器的隔振技术已成为本领域科学研究和工程应用中的重要课题。为了满足精密仪器工作时对振动的控制要求,需要针对不同的设备采用不同的隔振系统,来取得更加优异的隔振效果,使得精密仪器能够获得稳定的工作环境。本文针对一种高精度的大型平板显示屏自动光学检测仪器机台隔振系统,提出了双层隔振方案,较为系统地研究了双层隔振系统的有关基础理论,在此基础上对平板显示屏自动光学检测仪器的隔振
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