【摘 要】
：
芯片表面形貌是芯片封装质量的重要参考。当前芯片封装纵横比增大、引线集成度增加,使芯片封装表面形貌测量变得困难。数字全息技术具有无接触、无标记、高分辨率以及实时测量等优势,本文以数字全息显微技术为核心进行芯片封装表面形貌的快速准确测量研究。本文对芯片封装技术进行了调研,阐述了数字全息显微技术和双波长数字全息技术的发展现状,分析了数字全息的几种重建算法,简述了测试样品相位的矫正。针对芯片封装样品表面结
论文部分内容阅读
芯片表面形貌是芯片封装质量的重要参考。当前芯片封装纵横比增大、引线集成度增加,使芯片封装表面形貌测量变得困难。数字全息技术具有无接触、无标记、高分辨率以及实时测量等优势,本文以数字全息显微技术为核心进行芯片封装表面形貌的快速准确测量研究。本文对芯片封装技术进行了调研,阐述了数字全息显微技术和双波长数字全息技术的发展现状,分析了数字全息的几种重建算法,简述了测试样品相位的矫正。针对芯片封装样品表面结构纵横比大的实际,分析了相关数字全息测量的光路系统,对光源和显微物镜进行了参数分析,并搭建单波长激光照明数字全息显微系统进行了黑白格子晶片样品的测量,验证了光路系统及技术方案的有效。针对芯片表面形貌纵横比大导致高度差别大,设计了一种基于温控调制的双波长方案,使用两支相同型号的尾纤输出的半导体激光器,温控调制其中一支激光器波长漂移间隔2.81nm,双波长激光相差2.30nm,测试确定了温控的有效;搭建完成数字全息显微测量系统,对24μm标准样品和芯片封装样品进行测试,搭建实验系统测量样品高度结果与共聚焦显微物镜测量样品测量高度基本一致;使用离焦数字全息方案局部消除了台阶沟槽边缘的突变噪声,并使用数值仿真软件模拟了光学相位无包裹算法,该算法降低了双波长数字全息求解样品形貌中的噪声。为提高离轴数字全息解算样品形貌的速度,提出一种空间频谱复用数字全息加速算法。加速算法对整个全息图进行一维行傅里叶变换,再对样品频谱信息区域进行一维列傅里叶变换,减少了傅里叶变换维度,从而减少傅里叶变换计算时间,加快重建速度;数值模拟及实验验证了空间频谱复用数字全息加速算法的有效。为消除离轴双波长数字全息中重建物体形貌的一次畸变相位,提出一种旋转全息图平方滤波的方法,在系统消除二次相位畸变的前提下,仅需记录一幅离轴数字全息图就能恢复物体形貌,减少了双曝光方法中需要使用参考全息图消除畸变相位的操作步骤;仿真验证了算法的有效。
其他文献
数字全息测量技术已广泛应用在光学测量领域,包括微光学元件检测、生物样品检测、MEMS器件检测、高动态粒子测速等。由于激光光源的高相干性,使激光在光学元件表面上产生散射光波。随机散射光波干涉叠加后形成散斑噪声,严重影响测量系统的精度。因此,本文针对该问题开展散斑噪声抑制方法研究,主要研究内容包括:（1）数字全息测量系统基础理论研究及散斑噪声特性分析。文中研究了数字全息测量系统的记录、再现和测量原理;
目的调查老年慢性心力衰竭患者自我管理的现状,探索建立老年慢性心力衰竭患者自我管理行为影响因素的路径分析,为构建适合我国的老年慢性心力衰竭患者自我管理教育方案提供依据。方法 2015年—2018年,采用整群抽样方法,选取内蒙古东部、中部、西部3个区域的5个市7所医院的1051例老年慢性心力衰竭患者为研究对象。采用心力衰竭自我管理量表、慢性病自我效能量表、自我概念量表、医学应对方式问卷对其进行调查。运
吴增芥编撰的《幼稚园的音乐》是当时《幼稚园课程标准》在幼儿音乐教育中的体现，其中的内容从歌唱、欣赏到节奏都很好地实现了课程标准所制定的一系列目标。上篇为总论，从课程和教材两方面对幼儿园的音乐课程及音乐目标做了详细的阐述，并通过当时幼儿园的音乐教材展示了当时《幼稚园课程标准》在幼儿园的具体运用；下篇为分论，由欣赏、节奏、唱歌、器乐表演四部分组成，从四个不同的角度对幼儿音乐教育的教学目标、方法和材料进
在无线电系统中，接收机通道幅度和相位的不平衡会对回波的多普勒频率产生镜像，从而导致信号处理后出现虚假目标，此外不平衡还会影响通道之间的相位差。对幅相不平衡的回波信号建立数学模型，并计算出数学模型中的参数，最终实现了多通道的幅相校正。该方法应用于多个无线电项目中，消除了接收机幅相不平衡带来的危害。
该研究探讨人参皂苷Rg1对非酒精性脂肪性肝细胞炎症反应的作用及其分子机制。用1 mmol/L游离脂肪酸处理HepG2和L02细胞24 h,再用20 μg/mL或40 μg/mL人参皂苷Rg1处理6 h;设置对照组、模型组、低剂量Rg1组、高剂量Rg1组。全自动生化仪检测各组细胞上清谷丙转氨酶（alanine aminotransferase,ALT）、谷草转氨酶（aspartate aminotr
＜正＞为依法惩治妨害国（边）境管理违法犯罪活动，切实维护国（边）境管理秩序，根据《中华人民共和国刑法》《中华人民共和国刑事诉讼法》《中华人民共和国出境入境管理法》《最高人民法院、最高人民检察院关于办理妨害国（边）境管理刑事案件应用法律若干问题的解释》（法释[2012]17号，以下简称《解释》）等有关规定，结合执法、司法实践，制定本意见。
小净距交叉隧道的施工顺序问题一直未有定论。结合重庆铁路枢纽东环线磨心坡隧道和柿子坪隧道超小净距交叉段工程，通过数值模拟计算，对隧道衬砌结构的位移和内力响应进行研究，得出以下结论：1)不同的施工顺序对先、后行隧道结构的位移和内力影响均有较大影响，且上层隧道所受影响更为显著；2)近接交叉隧道施工时，结构响应会表现出强烈的空间相对性，即两隧道结构的净距越小，相互影响越大，后行隧道位于先行隧道的某侧，则对
针对目前中职语文学科学业评价改革实践中存在的问题，分析其问题根源，并从“核心素养”角度提出解决思路，从而明确中职语文学业评价改革的发展方向，开展新一轮基于核心素养的中职语文学业评价改革的探究与实践，逐步形成“发展导向、素养统领、情景任务”的改革理念，为中职语文新课标的落地实施打下基础。