微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管

来源 :中国科学院等离子体物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mowill
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该论文充分利用微波等离子体化学气相沉积法低温合成材料的特点,在低温条件下制备了纳米碳管,获得了较好的工艺条件.研究发现,合理调节碳源流速,或针对纳米碳管的稳定性高于无定形碳的特点,选择合适的碳源,利用氧离子以及含氧基团的选择性刻蚀作用,加强等离子体对无定形碳的刻蚀,可以在低温条件下直接合成纯度较高的纳米碳管.研究结果表明,微波等离子体化学气相沉积法在纳米碳管的低温制备方面具有显著的优越性,这无疑会扩大纳米碳管的使用范围,对纳米碳管在场发射方面的应用起到极大的促进作用.
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