自从在Fe/Cr金属多层膜中发现巨磁电阻效应以来，人们在磁性金属/非磁性材料的多层膜、颗粒膜和磁性隧道结中都相继发现了磁电阻效应，而且其在磁传感器、计算机读头及磁随机存储器等自旋电子器件上得以广泛应用。相对于金属/绝缘体薄膜而言，以半导体为势垒来研究磁电阻效应的报道却很少，半导体材料具有较低的势垒高度，能显著降低材料的电阻率，同时通过增加半导体的厚度，可以有效减少针孔效应的发生。尽管已有文献报道了磁性金属/半导体薄膜的室温磁电阻效应，但如何进一步提高磁电阻的数值和磁电阻效应的产生机制等有待进一步探究。本论文采用磁控溅射超薄分层交替沉积的方法，室温下制备了Co/ZnO等薄膜，对薄膜的结构、磁性、磁电阻效应及金属/半导体界面的自旋电子注入进行了研究。①比较了Co/ZnO与Co/Al₂O₃、Co/C和Co/Cu薄膜的结构和磁电阻效应，探明Co/ZnO薄膜磁电阻效应的来源；②通过在ZnO中加入少量Al来提高薄膜的磁性和磁电阻效应；③在Co/ZnO薄膜中发现了磁电阻效应对其电阻的依赖关系。主要研究内容如下：（1）采用固定Co层厚度（0.6 nm），改变ZnO层厚度（0.4-3.0 nm）的方法制备了Co/ZnO薄膜，发现薄膜形成了Co纳米颗粒包裹在ZnO半导体中的颗粒膜结构，薄膜中有少量Co²⁺取代了ZnO中的Zn²⁺离子；同时薄膜的室温和低温负磁电阻值分别达到11.9%和26%，薄膜电阻与温度间的lnρ与T^-1/2线性关系说明薄膜的磁电阻效应来源于磁性纳米颗粒间电子自旋相关的隧穿输运机制；而高温时lnρ与T^-1/2发生微小的非线性偏离说明温度的升高使自旋无关的高阶跳跃输运逐渐增多；薄膜低温时磁电阻效应的加强源于自旋相关的高阶隧穿。（2）通过对Co/ZnO、Co/Al₂O₃、Co/C和Co/Cu薄膜结构和磁电阻效应的对比研究，发现四种不同基质材料的薄膜均形成了Co颗粒包裹在非磁性基质中的颗粒膜，随基质材料与金属Co表面能差的增加，薄膜中Co颗粒尺寸逐渐减小；金属Co和半金属C之间较大的电导失配使Co/C薄膜没有室温磁电阻效应；在Co/ZnO薄膜中金属Co颗粒使部分ZnO中的电子极化，较大的室温磁电阻效应可能与Co颗粒与ZnO基质界面处部分极化的电子有关。（3）采用磁控溅射方法在ZnO中掺入金属Al制备了Co/ZnAlO （Al: 2at.%）薄膜，发现Co/ZnO与Co/ZnAlO薄膜均形成了磁性纳米颗粒包裹在半导体中的颗粒膜，薄膜的磁性来源于金属Co颗粒以及Co颗粒与半导体基质界面处的梯度磁性半导体；在Co/ZnAlO薄膜中获得12.3%的室温负磁电阻值，这是目前为止在磁性金属/半导体薄膜中得到的最大室温负磁电阻值；Al的加入使Co/ZnAlO薄膜的磁性和室温磁电阻效应同时提高，磁性的增加是由于Al的加入增加了薄膜中载流子浓度，从而增强了磁性半导体的磁性；磁性半导体磁性的增加使其对传导电子的自旋过滤效应增强，提高了Co/ZnAlO薄膜的室温磁电阻效应和自旋电子注入效率。（4）通过改变溅射气压和ZnO厚度等一系列实验条件制备了Co/ZnO薄膜，通过大量实验数据系统分析发现Co/ZnO薄膜室温磁电阻效应对其电阻具有明显的依赖性，当1300＜R＜6000时，薄膜具有8%以上的较大室温负磁电阻值，电阻值太小或过大时磁电阻效应都会减弱；薄膜的结构、磁性及电输运性质等结果表明薄膜磁电阻效应与电阻的依赖关系源于薄膜中电子的输运机制，当薄膜中电子输运以隧穿电导为主时才会表现出较大的室温磁电阻效应，但电阻过大又会使电子隧穿几率减小，降低了磁电阻值；电阻过小时薄膜中磁性颗粒间较大的耦合作用使其磁电阻效应减弱。总之，我们在Co/ZnO和Co/ZnAlO薄膜中获得了较大的室温磁电阻效应和较高的室温自旋电子注入效率，阐明了这种磁电阻来源于磁性颗粒间的隧穿输运机制，发现较大室温磁电阻效应与磁性金属颗粒和半导体界面处磁性半导体的自旋过滤效应有关，这为研究金属/半导体界面室温自旋电子注入提供了新的途径，同时其有望在自旋电子学器件中得以广泛应用。