具有光敏性和辐射聚合性溶胶-凝胶玻璃的制备及其在微光学中的应用

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:snakegmj
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本文制备了一种新颖的具有光敏性和辐射聚合性的HfO2—SiO2混合溶胶-凝胶玻璃。我们分别采用紫外线、X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前与曝光后的结构变化,表明该材料具有良好的光敏性和辐射聚合性。X射线光电子能谱表明凝胶薄膜中含有C、Si、O、Hf四种元素。 通过对材料光学性能、力学性能和热稳定性的分析,证明该材料具有良好的光学性能、力学性能、热稳定性和化学稳定性。而且HfO2—SiO2混合体系的光学性能与TiO2—SiO2、ZrO2—SiO2体系相比有所提高。 最后,利用其光敏性和辐射聚合性分别制备了衍射光栅。使用这种方法制备衍射光栅省去了传统方法中繁琐的刻蚀步骤,不再使用昂贵的刻蚀机。所以,使用这种方法制备微光学元件其方法简单,设备容易操作,而且成本低廉。同时,我们也采用了较简单的方法制备了微透镜阵列。
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