飞秒激光具有窄脉冲宽度和高峰值功率的特点,聚焦后在焦点处具有极高的光强,可实现多光子加工。本论文对飞秒激光多光子直写技术进行了研究,包括以下内容:1.飞秒激光SU8负性光刻胶双光子聚合工艺研究。系统研究了前烘工艺、激光功率和曝光时间、以及后烘工艺对聚合结构的影响,结果表明:前烘温度对聚合结果的影响并不明显(温度过高会发生聚合);聚合结构的尺寸会随着激光功率的增大和曝光时间的增长而增大,增大到一定的尺度时,聚合趋于饱和;后烘焙温度控制在85℃~95℃,后烘时间控制在20min~40min可以获得比较理想的聚合结构。2.飞秒激光掺锆有机无机杂化材料双光子聚合工艺研究。系统研究了前烘工艺、激光功率和曝光时间对聚合结构的影响,结果表明:前烘焙温度在80℃~100℃可以得到较好的聚合结构;聚合结构的分辨率会随激光功率的减小和曝光时间的减少而提高,但是聚合程度降低。3.飞秒激光直写金属银微结构。系统研究了激光参数、硝酸银浓度对金属银微结构的影响,结果表明:硝酸银溶液浓度较低(质量比为16.67%)时,析出的金属银颗粒呈球状,比较分散,彼此未完全连接,并且随激光功率降低和扫描速度的提高,金属银颗粒的分散度也增加;加入染料后,金属银的颗粒变长,连接较好;硝酸银溶液为饱和溶液(质量比为70.67%)时,析出的金属银结构由微米尺寸片状物组成,并且沉积的银含量显著提高,沉积结构的连续性得到了改善;飞秒激光直写金属银结构热效应影响比较大,沉积结构尺度偏大,并且出现了金属的溅射。