论文部分内容阅读
通过交流和直流反应溅射，我们以硅基片(表面上有白金加热电极)为基底制作H_2S气敏元件。实验表明，纳米WO_3和纳米SnO_2对H_2S都具有敏感。但是，在元件的灵敏度和响应／恢复时间上，SnO_2元件比WO_3元件优越。在一个相对较长的时期内，两种元件的稳定性都较差，其灵敏度随着环境温度和湿度的变化而变化。在后续的研究中，我们应该对环境温度和相对湿度的影响多加研究。提出了灵敏度随时间变化的方程。从元件的性能测试中可以看出，元件的特性和敏感材料的厚度、溅射功率、溅射时间以及溅射气压有关系。但是，在以