【摘 要】
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本论文的主要研究工作是采用磁控溅射的方法来实现金属与二氧化钛薄膜的肖特基接触,并对其特性进行研究。首先,我们利用溶胶—凝胶法制备了纳米晶TiO2薄膜材料,通过各种表征
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本论文的主要研究工作是采用磁控溅射的方法来实现金属与二氧化钛薄膜的肖特基接触,并对其特性进行研究。首先,我们利用溶胶—凝胶法制备了纳米晶TiO2薄膜材料,通过各种表征手段对薄膜材料的结构,光学性质进行分析。接着,我们用磁控溅射的方法制备了金-二氧化钛,铬-二氧化钛,镍-二氧化钛肖特基二极管,并测得其I-V特性曲线,从它们的I-V特性曲线中我们可以看出,这三种金属均与二氧化钛薄膜形成了很好的肖特基接触,具有较好的整流特性。文章的最后,我们探索性的制备了用金作接触电极的基于TiO2薄膜材料的MSM光伏型探测器,并对探测器的光电特性进行了初步测量。
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