新型谐振腔增强型双吸收层光探测器的研究

来源 :北京邮电大学 | 被引量 : 2次 | 上传用户:wishyourhappy
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随着WDM光网络技术的飞速发展,作为其关键技术之一的低成本、高性能的解复用接收器件,是WDM光通信技术能够应用于实际通信系统并发挥自身强大功能的保证。其中,同时具有高速、高量子效率和窄线宽特性的光探测器又是高性能的解复用接收器件的主要组成部分。本论文针对WDM系统中的集成解复用接收器件展开研究工作,主要研究工作及成果如下:1、分析了新型谐振腔增强型双吸收层光探测器(RCE-PINIP)的内部光场分布,从理论上对其驻波效应进行了详细的计算和仿真,在此基础上研究了驻波效应对该类型光探测器的量子效率的影响,同时针对具体结构提出了量子效率的优化方案。2、在分析RCE-PINIP光探测器的内部光场分布的基础上,利用传输矩阵法计算了该结构光探测器的量子效率。理论仿真结果表明,吸收层厚度在50nm~800nm范围内,该光探测器的量子效率会出现多个峰值,而且量子效率的峰值先增大(当两个吸收层厚度同为325nm时,器件量子效率在1550nm处达到最大值98.6%)后减小。针对这一光探测器进行了优化,获得了一个优化的RCE-PINIP结构。3、实验上成功制备了RCE-PINIP光探测器,并对其量子效率和高速响应性能进行了测试。测试结果显示,该探测器在1500nm处获得量子效率峰值,约为70%;其3dB带宽为2-3G Hz。4、参与了单片集成长波长四镜三腔光探测器的制备,成功地在GaAs衬底上集成了基于GaAs/AlGaAs DBR的FP腔滤波器、隔离腔结构和InP基的光探测器。实际制备的器件在1550.3nm处获得了58.47%的量子效率,其半高宽(FWHM)为0.78nm;在6V的反向偏压下,器件的3dB频率响应带宽为8.1GHz。
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