TaN薄膜材料及微波功率薄膜电阻器研究

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作为射频与微波系统的重要组件—微波功率薄膜电阻器可广泛应用于雷达、通讯、电子对抗等领域。本文主要开展了三个方面的工作:材料方面,采用反应直流磁控溅射技术制备TaN薄膜材料,主要研究了氮流量、薄膜厚度、Al掺杂和TaN/Al多层膜结构的工艺条件对TaN薄膜微结构和电性能的影响;在微波功率薄膜电阻器方面,由有耗传输线理论建立了微波功率薄膜电阻器的等效电路模型,采用HFSS软件设计、仿真了系列微波功率薄膜电阻器的结构尺寸和性能;器件制备方面,采用反应直流磁控溅射和掩膜图形化技术制备了系列TaN微波功率薄膜
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